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● Z1軸（檢出器）裝配高精度圓弧標(biāo)尺，通過(guò)直讀測(cè)針端的圓弧軌道，減少檢測(cè)機(jī)構(gòu)導(dǎo)致的誤差，確保高精度和高分辨力?？梢韵衲M方式那樣切換測(cè)量倍率，也可以在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)量，而不需要對(duì)每個(gè)倍率進(jìn)行校正。
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